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技術文章

熱式氣體質量流量控制器

產品名稱：熱式氣體質量流量控制器
貨　　號：24472
產品型號：HA-S48 32/HMT
 

熱式氣體質量流量控制器    型號；HA-S48 32/HMT

編號
項目
S48 32/HMT
1
流量規格
(10,20,30,50,100,200,300,500)mL/min;
(1,2,3,5,10,20,30)L/min
2
調節閥類型
電磁調節閥
3
調節閥靜止狀態
常閉
4
安裝方向
意
5
流量控制范圍
2%-
6
流量測量范圍
(0-100)%
7
零點溫漂
0.6%F.S.(15~35℃)
8
響應時間 
2s(T98,設定值的±2%F.S.)
9
作環境溫度
5~50℃
10
精度保證溫度
15~35℃
11
精度
±1.0%F.S
12
線性
±0.5%F.S
13
重復精度
±0.2%F.S
14
作壓差范圍
~5L/min:(0.05-0.3)MPa
10L/min~30L/min:(0.1-0.3)MPa
15
耐壓
3MPa
16
漏率
1×10-8Pa.m3/s(He)
17
管路接頭
1/4″Swagelok,Φ6mm-Φ10mm
18
供電電源
±15VDC(±5%) ＋15V,100mA;－15V, 200mA
19
設定信號
(0-5)VDC 
輸入阻抗>1MΩ
20
流量輸出信號
(0-5)VDC
負載輸出電流能力≤3mA
21
電氣接頭
D-SUB15
22
尺寸 (mm)
113（寬）×121（）×32（厚）

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